ENTEGRIS成立于 1999 年，是一家美国的产品和系统供应商，产品和系统用于净化、保护和运输半导体器件制造过程中使用的关键材料。
ENTEGRIS产品包括：
净化工艺气体和流体以及周围环境的过滤产品；
分配、控制或运输过程流体的液体系统和组件；
高性能材料和特种气体管理解决方案；
保护半导体晶片免受污染和破损的晶片载体和托运者；
和专门的石墨、碳化硅和涂层。
ENTEGRIS气体过滤器WGFGT1PR1技术参数
|
PART NUMBER
|
WGFGT1PR1
|
|
PRODUCT TYPE
|
Wafergard® SG F Micro gas filter
|
|
MAXIMUM FLOW RATE
|
60 slpm
|
|
FITTING SIZE AND TYPE
|
1/4" gasket seal (VCR® compatible)
|
|
LENGTH
|
84.1 mm (3.31")
|
ENTEGRIS气体过滤器SG系列介绍
Wafergard® SG YY 系列气体过滤器提供卓越的微粒过滤，尽可能地提高光伏电池和显示器的生产产量。
- 与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有出色的兼容性
- 卓越的下游清洁度
Wafergard® SG YY series gas filters provide superior particulate filtration to maximize photovoltaic cell and display manufacturing production yields.
- Excellent compatibility with high purity gases, inert gas and CDA applications
- Superior downstream cleanliness
ENTEGRIS气体过滤器SG系列其他常用型号：
ENTEGRIS WGFG32PS1
ENTEGRIS WGFG50PR1
ENTEGRIS WGFGMBPRF2
ENTEGRIS WGFGMBRR2
ENTEGRIS WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGFGMBSS2
ENTEGRIS WGFGMBSS3
ENTEGRIS WGFGMBSS4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGFGT1PS1