1、美国MKS流量计介绍
美国MKS流量计GM50A和GM51A是通用金属密封质量流量计(MFM)，非常适合需要5 sccm至50 slm满量程（相当于N2）流量计量的各种应用。这些流量计采用了最新的数字流量计电子设备以及久经考验的专利热传感器和机械设计。
2、美国MKS流量计简述
①美国MKS流量计GM50A宽1.45英寸
②美国MKS流量计GM51A宽1.25英寸
③嵌入式用户界面可轻松更改范围和气体，减少所需的库存
④现场监控和收集设备数据
⑤16微英寸316L表面光洁度，适合高纯度应用
⑥数字或模拟I/O的多种选择
3、美国MKS流量计技术参数
①美国MKS流量计类型：质量流量计(MFM)
②满量程流量范围：5-50000 sccm
③测量范围：满量程的0.1%至100%
④最大入口压力：500磅/平方英寸
⑤耐压：1000磅/平方英寸
⑥爆破压力：1500磅/平方英寸
⑦典型精度：读数的±1%
⑧重复性：读数的±0.3%
4、美国MKS流量计规格
①零温度系数：满量程的0.05%/°C
②跨度温度系数：读数的0.08%/°C
③入口压力系数：读数的0.02%/psi
④热身时间：30分钟（稳态性能满量程的0.2%以内）
⑤美国MKS流量计工作温度：10-50℃
⑥储存湿度：0至95%相对湿度，无冷凝
⑦外部泄漏完整性：1 x 10-10(scc/秒He)
⑧接液材料：316L SS VAR
⑨美国MKS流量计表面处理：16μ英寸平均Ra
⑩电源要求：+15至+24 VDC
⑪重量：2.5磅（1.1千克）
5、美国MKS流量计多气体/多范围能力
美国MKS流量计多气体/多范围功能以及严格的精度性能规格，使用户能够最大限度地减少高流量MFM零件号的库存。多气体/多范围功能（以及其他自定义控制）可通过MFM嵌入式诊断接口访问，无需特殊软件或硬件即可操作。标准以太网电缆和广泛使用的支持JAVA的HTML浏览器就是所需的全部工具。典型高流速气体的关键气体参数已存储在设备上。配置设备只需从下拉菜单中选择气体并指定所需的满量程流量范围即可。诊断界面还允许用户执行常规设备运行状况检查、绘制流程并存储操作数据以进行离线分析。