BOC EDWARDS-真空隔离阀-VIV25EKA

产品名称：BOC EDWARDS-真空隔离阀-VIV25EKA

产品型号：VIV25EKA

产品介绍：VIV 真空隔离阀旨在与 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 干式初级泵一起使用，是一种高电导、快速作用的高真空隔离阀，旨在防止蒸汽或颗粒从前级泵移动到工艺室 . 当 VIV 关闭时，前级泵排气。 当泵停止或停止时，VIV 可保护工艺室不被通风。 当前级泵重新启动时，阀门将在 VIV 内的压力下降时缓慢打开，从而大限度地减少任何压力爆裂的影响。

性能特点：

VIV 阀具有高传导性

快速关闭动作

断电保护

灵活的安装选项

不限制主泵性能

防止蒸汽或微粒从前级泵迁移到工艺室

防止电源故障时工艺室排气

参数：

关闭压差:>200 mbar

开启压差:<200 mbar

开启开关时间:<15s

用于合闸切换时间:<0.1s

响应时间切换时间:<0.05s

机身材质:铝

密封材料:氟橡胶