产品名称：ONTO-光刻系统-JetStep G35
产品型号：JetStep G35
产品介绍：JetStep G35 系统专为灵动性而设计，利用一系列高性能投影镜头为平板显示器制造商实现高分辨率成像。Jetstep G35 系统是一款大批量制造成像系统，适用于高达 3.5 代的显示器。JetStep G35 系统可实现低至 1.5µm 的高分辨率成像，并结合*的高分辨率显示器制造所需的配准和拼接精度。适用于高达Gen 3.5尺寸的平板显示器应用的高分辨率成像。
性能特点：
自动放大控制增加了工艺窗口
板载标线管理系统提供大利用率
用于现场校准的机载计量包
在每个曝光位置进行动态自动对焦，以自动调整面板拓扑上的焦点
提供系统性能和故障排除反馈的板载诊断
参数：
行业标准的 6 英寸光罩格式，用于经济的制造
低至 1.5µm 的高分辨率成像