GateKeeper®GPU气体净化器
GateKeeper®GPU系列净化器旨在提高工艺气体的一致性，使用寿命和出口纯度。
纯度达到ppt级别
广泛的气体相容性，包括腐蚀性气体，如Cl2, HBr, HCl, CF4, SO2, SF6
净化器压降低
通过CE压力设备指令PED认证，并在ISO 9001-2000工厂生产
可再生-消除处理问题和成本
长寿命-提高拥有成本
使用环境温度净化
看门人®
GPU
HX Media气体净化器
高纯度控制
设计了integris的GateKeeper®GPU气体净化器
提高纯度的一致性，使用寿命和最终纯度
高纯度气体至关重要的微电子应用。
利用我们在材料科学方面的专业知识，我们开发了
提供新一代HX气体净化产品
无与伦比的价值和性能。
应用程序
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•半导体
•数据存储
•平板显示
•领导
•太阳能
特点和优点
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工艺控制和保护纯度控制在十亿分之一(ppb)以下
低压降通过净化器
CE压力设备指令(PED)认证
在ISO®9001:2015设施中生产
具有成本效益的可再生-消除处理问题和成本
长寿命-提高拥有成本
使用环境温度净化-无需加热或电源
需要操作
对方向不敏感(水平/垂直)
