适用于所有工艺气体的镍过滤膜
提供多种配件类型以满足客户的安装要求
可提供 0.0015 µm 过滤技术，以满足超洁净大宗气体输送的最苛刻需求
应用
Wafergard
III 散装在线金属气体过滤器应用
大宗天然气农场和大宗特种气体系统 (BSGS)
超高纯气体管线
高温应用
新工厂建设和/或升级现有过滤器
规格
产品规格
材料 滤芯 烧结镍膜过滤器
住房 电抛光 VAR 316L 不锈钢
移除等级 0.0015 微米
表面处理内饰 <10 微英寸 Ra
下游清洁度 <0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3） >0.01 µm
氦泄漏等级 1 x 10 -9大气压立方厘米/秒
最大操作条件 最大工作压力： 50 巴（725 磅/平方英寸）SI2N0010R、SI2N0025R
31 巴（450 磅/平方英寸）SI2N0050R、SIN0100B、SI2N0200B、SI2N0200R
最大正向/反向压差： 5.2 巴（75 磅/平方英寸）
在惰性气体中的最高工作温度： 200°C (392°F)
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 在最大额定流量下去除所有颗粒（以最具穿透性的颗粒尺寸为参考）
零件号