美国ENTEGRIS英特格，在线气体过滤器，WG3NS3RF2，期货
提供卓越的颗粒过滤，用于超纯气体系统过滤。
全金属结构提供了最清洁、最高效的全金属过滤器
专利的镍过滤膜具有优越的耐腐蚀性和良好的化学兼容性
创新的房屋设计有助于消除气化并减少干燥时间
理想用于高温和动态压力应用
通常用于流量最高达30标准升每分钟
计算机辅助设计
CAD文件
此产品可能有CAD图纸。请使用零件选择器选择零件编号以查看是否可用。前往零件选择器
应用程序
Wafergard
III NF-30 在线气体过滤器 应用
批量气体供应
光刻
沉积
干法刻蚀
离子注入
注意：不推荐与CO、O3及低水平的氢化物掺杂气体一起使用。
产品规格
材料 滤膜 专利烧结镍
住房 电抛光F20不锈钢
下游清洁度 粒子* <0.03颗粒/升（<1颗粒/英尺3）>0.01微米
挥发物** 水2、氧气2和一氯甲烷的挥发性气体会低于检测限（在室温下通过RGA和FID检测）
移除评级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 ≤5 µin Ra
氦气泄漏率 合格 2x10-10 标准大气压 立方厘米/秒
测试通过 1x10-9 气压立方厘米/秒
最大运行条件 最大入口压力： 70 巴 (1000 磅力每平方英寸) @ 100°C (212°F)
正反向最大压差： 10 巴 (150 psid)
最高工作温度 惰性气体 400°C (752°F) 在35 bar (500 psi)
腐蚀性和反应性气体 50°C (122°F) 在70 bar (1000 psi)
保修 5年
颗粒保留 在30标准升每分钟的流量下，去除99.999999% (9个低风险病毒)的所有颗粒
在75标准升每分钟（参考最穿透颗粒尺寸）下，去除99.9999%以上的所有颗粒。
流量 参考流量曲线
*颗粒清洁度经SEMASPEC颗粒脱落测试方法（#93021511A-STD）合格
**挥发性清洁度经SEMASPEC测试方法合格：THC贡献（#90120396B-STD），水分贡献（#90120397B-STD），氧气贡献（#90120398B-STD）
零件编号
Wafergard III NF-30 在线气体过滤器 部件编号
零件编号 配合尺寸和类型 长度
WG3NS3FF2 1/4" 垫片密封（兼容VCR接头） 女口/出口 58.4 毫米 (2.30英寸)
WG3NS3JJ2 1/4" 对焊管 28.4 毫米 (1.12英寸)
WG3NS3RF2 1/4" 偏光垫密封 (兼容VCR接头) 阳口进/阴口出 71.1 毫米（2.80英寸）
WG3NS6RR2 1/4" 垫片密封（兼容VCR接头）阳口入口/出口 84.1 毫米（3.31英寸）
WG3NS6SL2 1/4" 垫片密封（兼容VCR接头）阳口进/出口，短款 58.7 毫米 (2.31英寸)
