Wafergard
SL 1.125英寸C形密封气体过滤器
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结合行业最佳滤芯和最小的表面贴装设计，这些气体滤芯在显著减少气面板占用空间的同时，提供终极过程保护。
设计用于满足1.125英寸C形密封表面安装接口，减少气化，提高耐腐蚀性，并提供出色的化学兼容性。
减少总流动面积提供了更好的下游清洁度
洁净室制造和包装
提供镍或不锈钢膜
应用程序
Wafergard SL 1.125英寸C密封气体过滤器 应用
燃气面板
超纯气体管道
高温应用
动态压力应用
不锈钢过滤器用于惰性、氢化物和CO2气体，镍过滤器用于惰性和反应性气体
产品规格
材料 过滤元件：NF - 专利烧结镍膜 SF - 专有的烧结不锈钢膜
住房基础模块 SEMI F20 316L 电抛光不锈钢
入口/出口连接 表面线 1.125英寸 C形密封圈
去除率 >0.0015 微米
表面处理内部 <5 μin Ra
氦气泄漏等级 合格：2 x 10-10 cc/秒 测试：1 x 10-9 cc/秒
下游清洁度 粒子* <0.03 微粒/升（<1 微粒/英尺3）≥0.01 µm
挥发性化合物** 水2、氧气2和三氯甲烷的挥发性气体会低于检测限
（在室温下通过RGA和FID检测）
颗粒保留 NF- 99.9999999% 以上去除所有颗粒（以最穿透颗粒尺寸为参考）
SF- 99.9999% 以上去除所有颗粒（以最穿透颗粒尺寸为参考）
操作条件 最大入口压力 34.5 巴 (500 磅力每平方英寸) @ 20°C (68°F)
最大正/反向差压 10 巴 (150 psid) @ 23°C (73°F) NF-Micro 和 SF-Micro
8 bar (115 psid) @ 23°C (73°F) NF-Mini 和 NF-Mini XL
20 bar (300 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作温度 惰性气体：400°C (752°F) @ 35 bar (500 psig)
腐蚀性和反应性气体：50°C (122°F) @ 35 bar (500 psig)
*颗粒清洁度经SEMASPEC颗粒脱落测试方法（#93021511A-STD）验证合格。
**挥发性清洁度经SEMASPEC测试方法验证合格：THC贡献（#90120396B-STD），水分贡献（#90120397B-STD），氧气贡献（#90120398B-STD）。
零件编号
Wafergard SL 1.125英寸C密封气体过滤器 部件编号
部件编号 产品类型
WGSLNFC1H NF-Mini XL 过滤器
WGSLNFC1L NF-微型过滤器
WGSLNFC1M NF-迷你过滤器
WGSLSFC1L SF-微型过滤器
WGSLSFC1M SF-迷你过滤器零件编号
Wafergard SL 1.125英寸C密封气体过滤器 部件编号
部件编号 产品类型
WGSLNFC1H NF-Mini XL 过滤器
WGSLNFC1L NF-微型过滤器
WGSLNFC1M NF-迷你过滤器
WGSLSFC1L SF-微型过滤器
WGSLSFC1M SF-迷你过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
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ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
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ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
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ENTEGRIS LGMXFPRR4
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ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
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ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
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ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
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ENTEGRIS SVTG01TQ1
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