Entegris 的 9N 气体纯化器是一类能将气体纯度提升至 9 个 9（即杂质含量小于 1ppb）级别的高端纯化设备，结合你提到的适用气体种类及流量参数，其相关特性如下：
适用气体：可对 N₂、Ar、He、Kr、Ne、Xe 等惰性气体，以及 CF₄、CH₄、C₂H₆、C₃H₈、C₄H₁₀等卤代烃和烃类气体进行纯化。不同气体的纯化原理和内部配置可能会有差异，但均旨在高效去除其中的 H₂O、O₂、CO、CO₂、烃类等杂质，以满足半导体、科研等对气体纯度要求极高的领域需求。
流量规格：流量为 500slpm（标准升每分钟），属于中流量级别。Entegris 有不同系列的产品可覆盖该流量需求，例如其 GateKeeper 系列部分型号能满足类似流量范围，可根据具体工艺需求和其他参数进一步选型适配。
纯度性能：作为 9N 级纯化器，通常要求进气纯度在 5 个 9 及以上，经过纯化后可实现气体杂质含量低于 1ppb 的超纯水平，能够为对气体纯度极为敏感的工艺环节提供稳定可靠的高纯气体供应。
GateKeeper
GPU 气体净化器
幻灯片详情。
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GateKeeper GPU系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度。
纯度至 ppt 水平
广泛的气体兼容性，包括腐蚀性气体如Cl2、HBr、HCl、CF4、SO2、SF6
净化器压降低
CE认证符合压力设备指令PED，并在ISO 9001-2000设施中制造
可再生 – 消除处理问题和成本
长寿命 - 改进的拥有成本
使用环境温度净化
GateKeeper GPU 气体净化器 应用
批量气体交付
光刻
外延生长
干法刻蚀
晶圆生长
沉积
参考资料
产品文档
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU AP 媒体气体净化器
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344.8 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU BX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU CO 介质气体净化器
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发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU CR 媒体气体净化器
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338.1 千字节
发表于2023年3月1日
数据表
GateKeeper GPU CX 媒体气体净化器
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356.4 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU DZ 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU EX 媒体气体净化器
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377.3 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU FX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU HX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU IX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU LG 媒体气体净化器
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385.6 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU NX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU OP 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU TX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU WX 媒体气体净化器
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388.7 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU WY 媒体气体净化器
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387.4 千字节
发表于2021年9月1日
数据表
GateKeeper GPU YX 媒体气体净化器
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397.6 千字节
发表于2024年1月1日
数据表
突破性生命终结指标 (BTI)
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267.7 千字节
发表于2019年9月4日
宣传册
气体净化解决方案
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586.1 千字节
发表于2018年3月1日
技术说明
从气体流中减少金属污染物
下载 PDF
494.5 千字节
OPERATING SPECIFICATIONS
—
Model
Maximum
flow rate
Lifetime is 1
year at this
flow rate,
with 1 ppm
moisture and
1 ppm oxygen
Maximum
operating
pressure –
purifier only
Maximum
operating
pressure –
purifier with
options
Pressure drop,
with 20 μm
particle filter*
Pressure
drop, with
0.0015 μm
particle filter*
GPU 35 1 slpm 0.7 slpm 1,400 psig 250 psig – 0.3 psid
GPU 70 5 slpm 1.0 slpm 1,400 psig 250 psig – 0.5 psid
GPU 80 10 slpm 1.2 slpm 1,400 psig 250 psig – 1.0 psid
GPU 100 20 slpm 1.7 slpm 1,000 psig 250 psig – 16.7 psid
GPU 200 20 slpm 2.8 slpm 800 psig 250 psig – 0.7 psid
GPU 300 50 slpm 4.2 slpm 800 psig 250 psig – 1.3 psid
GPU 500 75 slpm 8.0 slpm 600 psig 250 psig – 1.3 psid
GPU 700 120 slpm 12.0 slpm 600 psig 250 psig – 1.8 psid
GPU 2500 4R 300 slpm 45.0 slpm 505 psig 250 psig – 5.0 psid
GPU 2500 8R 500 slpm 45.0 slpm 505 psig 250 psig – 5.6 psid
GPU 3000 500 slpm 52.5 slpm 505 psig 250 psig – 5.6 psid
GPU 5000 500 slpm 85.0 slpm 505 psig 250 psig – 7.0 psid
GPU 10M 8R 1,000 slpm 170.0 slpm 370 psig 250 psig – 5.8 psid
GPU 10M 12R 1,000 slpm 170.0 slpm 370 psig 250 psig – 8.0 psid
GPU 13M 12R 2,000 slpm 210.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid –
GPU 13M 16R 2,500 slpm 210.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid –
GPU 17M 12R 2,000 slpm 270.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid –
GPU 17M 16R 2,500 slpm 270.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid –
GPU 20M 12R 2,000 slpm 320.0 slpm 370 psig 250 psig – 19.0 psid
GPU 20M 16R 2,500 slpm 320.0 slpm 370 psig 250 psig – 19.0 psid
*Purifier only at maximum flow rating with 90 psig inlet pressure
4
FACILITY SPECIFICATIONS
—
GPU model
Connection
size (VCR)
Inlet/outlet
connection type
(VCR)
Outside
Diameter (OD)
Overall length
(OAL)
Approximate
weight
GPU 35 1/4" Male/male 38.1 mm (1.5") 84 mm (3.3") 0.3 kg (0.7 lbs)
GPU 70 1/4" Male/male 38.1 mm (1.5") 114 mm (4.5") 0.3 kg (0.7 lbs)
GPU 80 1/4" Male/male 38.1 mm (1.5") 127 mm (5.0") 0.3 kg (0.7 lbs)
GPU 100 1/4” Male/male N/A 84 mm (3.3") 0.9 kg (2.0 lbs)
GPU 200 1/4" Male/male 50.8 mm (2.0") 157 mm (6.2") 0.9 kg (2.0 lbs)
GPU 300 1/4" Male/male 50.8 mm (2.0") 208 mm (8.2") 1.1 kg (2.5 lbs)
GPU 500 1/4" Male/male 76.2 mm (3.0") 201 mm (7.9") 1.8 kg (4.0 lbs)
GPU 700 1/4" Male/male 76.2 mm (3.0") 254 mm (10.0") 2.5 kg (5.5 lbs)
GPU 2500 4R 1/4" Male/male 101.6 mm (4.0") 439 mm (17.3") 6.8 kg (15 lbs)
GPU 2500 8R 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 445 mm (17.5") 6.8 kg (15 lbs)
GPU 3000 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 508 mm (20.0") 7.3 kg (16 lbs)
GPU 5000 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 785 mm (30.9") 10.0 kg (22 lbs)
GPU 10M 8R 1/2" Male/male 152.4 mm (6.0") 737 mm (29.0") 20 kg (44 lbs)
GPU 10M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 749 mm (29.5") 21.8 kg (48 lbs)
GPU 13M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 892 mm (35.1") 24.9 kg (55 lbs)
GPU 13M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 899 mm (35.4") 24.9 kg (55 lbs)
GPU 17M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 1085 mm (42.7") 29.5 kg (65 lbs)
GPU 17M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 1090 mm (42.9") 29.5 kg (65 lbs)
GPU 20M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 1290 mm (50.8") 34 kg (75 lbs)
GPU 20M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 1296 mm (51.0") 34 kg (75 lbs)
5
FACILITY SPECIFICATIONS, PURIFIERS WITH ISOLATION VALVES
—
GPU model
Connection
size (VCR)
Inlet/outlet
connection type
(VCR)
Outside
Diameter (OD)
Overall length
(OAL) with valves
Approximate
weight with valves
GPU 35 1/4" Female/female 38.1 mm (1.5") 234 mm (9.2") 1.2 kg (2.6 lbs)
GPU 70 1/4" Female/female 38.1 mm (1.5") 264 mm (10.4") 1.3 kg (2.9 lbs)
GPU 80 1/4" Female/female 38.1 mm (1.5") 277 mm (10.9") 1.3 kg (2.9 lbs)
GPU 100 1/4” Female/female N/A 234 mm (9.2") 1.3 kg (2.9 lbs)
GPU 200 1/4" Female/female 50.8 mm (2.0") 307 mm (12.1") 1.7 kg (3.7 lbs)
GPU 300 1/4" Female/female 50.8 mm (2.0") 358 mm (14.1") 1.8 kg (3.8 lbs)
GPU 300 (GC 300) 1/4" Female/male 83.8 mm (3.3") 401.3 mm (15.8") 2.3 kg (5.1 lbs)
GPU 500 1/4" Female/female 76.2 mm (3.0") 351 mm (13.8") 2.7 kg (6.0 lbs)
GPU 700 1/4" Female/female 76.2 mm (3.0") 404 mm (15.9") 4.4 kg (9.6 lbs)
GPU 2500 4R 1/4" Female/female 101.6 mm (4.0") 592 mm (23.3") 6.8 kg (15 lbs)
GPU 2500 8R 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 714 mm (28.1") 8.0 kg (17.7 lbs)
GPU 3000 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 777 mm (30.6") 8.5 kg (18.7 lbs)
GPU 5000 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 1054 mm (41.5") 12.5 kg (27.6 lbs)
GPU 10M 8R 1/2" Female/male 152.4 mm (6.0") 970 mm (38.2") 22.5 kg (49.6 lbs)
GPU 10M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1125 mm (44.3") 24.9 kg (55.0 lbs)
GPU 13M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1270 mm (50.0") 28.1 kg (62.0 lbs)
GPU 13M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1308 mm (51.5") 29.5 kg (65.0 lbs)
GPU 17M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1461 mm (57.5") 32.7 kg (72.0 lbs)
GPU 17M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1499 mm (59.0") 34.0 kg (75.0 lbs)
GPU 20M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1666 mm (65.6") 37.2 kg (82.0 lbs)
GPU 20M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1705 mm (67.1") 38.6 kg (85.0 lbs)
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBSS4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
Entegris WGFG21KP0 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS WG2F02RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Entegris WGFG02PS1 过滤器
ENTEGRIS WG2F40RR3
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WG2F02RR2 过滤器
Entegris WG3D40DR2 过滤器
Entegris WG3D40DR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR2
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DS0 滤芯
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2