GateKeeper
GPU 气体净化器
幻灯片详情。
下载图片
GateKeeper GPU系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度。
纯度至 ppt 水平
广泛的气体兼容性，包括腐蚀性气体如Cl2、HBr、HCl、CF4、SO2、SF6
净化器的低压降
CE认证符合压力设备指令PED，并在ISO 9001-2000设施中制造
可再生 – 消除处理问题和成本
长寿命 - 改进的拥有成本
使用环境温度净化
对GATEKEEPER GPU气体净化器感兴趣吗？
联系您的Entegris客户经理或
联系我们
页首
应用程序
参考材料
应用程序GateKeeper GPU气体净化器 应用
批量气体交付
光刻
外延生长
干法刻蚀
晶圆生长
沉积
参考材料产品文档
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU AP 媒体气体净化器
下载 PDF344.8 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU BX媒体气体净化器
下载 PDF344.2 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU CO媒体气体净化器
下载 PDF345.2 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU CR 媒体气体净化器
下载 PDF338.1 千字节
发表于2023年3月1日数据表GateKeeper GPU CX 媒体气体净化器
下载 PDF356.4 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU DZ 媒体气体净化器
下载 PDF376.3 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU EX 媒体气体净化器
下载 PDF377.3 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU FX 媒体气体净化器
下载 PDF336.1 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU HX 媒体气体净化器
下载 PDF386.7 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU IX 媒体气体净化器
下载 PDF388.8 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU LG 媒体气体净化器
下载 PDF385.6 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU NX 媒体气体净化器
下载 PDF387.1 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU OP 媒体气体净化器
下载 PDF378.7 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU TX 媒体气体净化器
下载 PDF388.0 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU WX 媒体气体净化器
下载 PDF388.7 千字节
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU WY 媒体气体净化器
下载 PDF387.4 千字节
发表于2021年9月1日数据表GateKeeper GPU YX 媒体气体净化器
下载 PDF397.6 千字节
发表于2024年1月1日数据表突破性生命终结指标 (BTI)
下载 PDF267.7 千字节
发表于2019年9月4日宣传册气体净化解决方案
下载 PDF586.1 千字节
发表于2018年3月1日技术说明气体流中金属污染物的减少
英特格ENTEGRIS，O2、CDA纯化器，GPUS70FNX04ROOCA
英特格ENTEGRIS，O2、CDA纯化器，GPUS70FNX04ROOCA，GPUS70FNX04R00CA
GateKeeper GPU 系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度。
纯度达到ppt级别
广泛的气体兼容性，包括腐蚀性气体，如 Cl 2、HBr、HCl、CF 4、SO 2、SF 6
净化器的压降较低
通过压力设备指令 PED 的 CE 认证，并在 ISO 9001-2000 工厂制造
可再生——消除处置问题和成本
使用寿命长——降低拥有成本
使用常温净化
应用领域
GateKeeper GPU 气体净化器应用
大宗气体输送
光刻法
外延
干蚀刻
晶圆生长
沉积
QCCVATM01K
QCCVATX01
QCCZAT101
QCCZATX01
QCDVATX2F
QCDYATM0F
QCDZATXLH
QCPV15P3F
QCPV15P8P
QCVZATMTS
QCVZATMTH
QCVZATMTS0
QCVZATETH
QCVZATM4H
QCVZATM3S0
QCVZATM4S
QCVZATETS
QCVZATMT3
QCVZATX4S
QCVZATM3S
QCVZATX3S
QCVZATM4S0
QCVZATETW
QCVZATMLH
QCVZATMTW
QCVZATET3
QCVZATELH
QCVZATE4S
QCVZATE4H
QCVZATE3S
QCVZACMTW
QCVZACMTS
QCVZACM4S
QCVZACM3S
QCVZACETS
QCVZACE4S
QCVZACE3S
QCVYATMTW
QCVYATMTS0
QCVYATMTS
QCVYATMTH
QCVYATMT3
QCVYATMLH
QCVYATM4S0
QCVYATM4S
QCVYATM4H
QCVYATM3S0
QCVYATM3S
QCVYATETW
QCVYATETS
QCVYATETH
QCVYATET3
QCVYATELH
QCVYATE4S
QCVYATE4H
QCVYATE3S
QCVYACMTW
QCVYACMTS
QCVYACMTH
QCVYACM4S
QCVYACM3S
QCVYACETS
QCVYACETH
QCVYACE4S
QCVYACE4H
QCVYACE3S
QCVVATX4S
QCVVATX3S
QCVVATMTW
QCVVATMTS0
QCVVATMTS
QCVVATMTH
QCVVATMT3
QCVVATMLH
QCVVATM4S0
QCVVATM4S
QCVVATM4H
QCVVATM3S0
QCVVATM3S
QCVVATETW
QCVVATETS
QCVVATETH
QCVVATET3
QCVVATELH
QCVVATE4S
QCVVATE4H
QCVVATE3S
QCVVACM4S
QCVVACM3S
QCV0000TS
QCV0000TH
QCV00004S
QCV00003S
QCPZ30PWW
QCPZ30P8S
QCPZ30P8P
QCPZ30P3S
QCPZ30P3F
QCPZ30P2S
QCPZ30P2P
QCPZ30C3F
QCPZ30C2S
QCPZ30C2P
QCPZ15P8S
QCPZ15P8P
QCPZ15P3S
QCPZ15P3F
QCPZ15C8S
QCPZ15C3F
QCPY30X3S
QCPY30MWW
QCPY30M8S
QCPY30M8P
QCPY30M3S
QCPY30M3F
QCPY30M2S
QCPY30M2P
QCPY30C3S
QCPY30C3F
QCPY30C2S
QCPY30C2P
QCPY15M8S
QCPY15M8P
QCPY15M3S
QCPY15M3F
QCPY15C8S
QCPY15C3F
QCPV30PWW
QCPV30P8S
QCPV30P8P
QCPV30P3S
QCPV30P3F
QCPV30P2S
QCPV30P2P
QCPV30C3F
QCPV30C2S
QCPV30C2P
QCPV15P8S
QCPV15P3S
QCP0300WW
QCP03008S
QCP03008P
QCP03003S
QCP03003F
QCP03002S
QCP03002P
QCP01508S
QCP01508P
QCP01503S
QCP01503F
QCMZATX4S
QCMZATX3S
QCMZATM4S
QCMZATM3S
QCMZATE4S
QCMZATE3S
QCMZACM4S
QCMZACM3S
QCMYATM4S
QCMYATM3S
QCMYATE4S
QCMYATE3S
QCMYACM4S
QCMYACM3S
QCMYACE4S
QCMYACE3S
QCMVSTX3S
QCMVATX4S
QCMVATX3S
QCMVATM4S
QCMVATM3S
QCMVATE4S
QCMVATE3S
QCMVACM4S
QCMVACM3S
QCMGATX4S
QCM00044S
QCM00043S
QCM00004S
QCM00003S
QCDZSTTXTW
QCDZSTTXTP
QCDZSTXTH
QCDZSTXTF
QCDZSTXLH
QCDZSTX4F
QCDZSTX2F
QCDZSTX1F
QCDZSTX0F
QCDZSTMTH
QCDZSCX2F
QCDZSCX0F
QCDZATXTW
QCDZATXTP
QCDZATXTH
QCDZATXTF
QCDZATTX3
QCDZATX4F
QCDZATX2F
QCDZATX1F
QCDZATX0F
QCDZATMTW
QCDZATMTH
QCDZATMTF
QCDZATMT3
QCDZATMST3
QCDZATMSF
QCDZATMLH
QCDZATM4H
QCDZATM4F
QCDZATM2F
QCDZATM1F
QCDZATM0F
QCDZATETW
QCDZATETH
QCDZATETF
QCDZATET3
QCDZATELH
QCDZATE4W2WM
QCDZATE4W
QCDZATE4P2PM
QCDZATE4H
QCDZATE4F2FM
QCDZATE4F
QCDZATE2F
QCDZATE1F
QCDZATE0W2WM
QCDZATE0W
QCDZATE0P2PM
QCDZATE0F2FM
QCDZATE0F
QCDZAT1TW
QCDZAT1TH
QCDZACXTH
QCDZACXLH
QCDZACX4F
QCDZACX0F
QCDZACMTH
QCDZACMTF
QCDZACM4F
QCDZACM2F
QCDZACM0F
QCDZACE4W
QCDZACE4P3PM
QCDZACE4P2PM
QCDZACE4F
QCDZACE0F
QCDZ10P6P
QCDZ10P4F
QCDYSTX4F
QCDYSTX2F
QCDYSTX1F
QCDYSTX0F
QCDYATX4F
QCDYATX2F
QCDYATX1F
QCDYATX0F
QCDYATMTW
QCDYATMTH
QCDYATMTF
QCDYATMT3
QCDYATMLH
QCDYATM4H
QCDYATM4F