美国ENTEGRIS应特格纯化器，GPUS500FTX04R00CA，气体纯化器
美国ENTEGRIS应特格纯化器，GPUS500FTX04R00CA，气体纯化器
美国ENTEGRIS应特格纯化器，GPUS500FTX04R00CA，气体纯化器
GPU系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度。
纯度至 ppt 水平
广泛的气体兼容性，包括腐蚀性气体如Cl2、HBr、HCl、CF4、SO2、SF6
净化器的低压降
CE认证符合压力设备指令PED，并在ISO 9001-2000设施中制造
可再生 – 消除处理问题和成本
长寿命 - 改进的拥有成本
使用环境温度净化
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应用程序
参考材料
应用程序GateKeeper GPU气体净化器 应用
批量气体交付
光刻
外延生长
干法刻蚀
晶圆生长
沉积
参考材料产品文档
发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU AP 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU BX媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU CO媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU CR 媒体气体净化器
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发表于2023年3月1日数据表GateKeeper GPU CX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU DZ 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU EX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU FX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU HX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU IX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU LG 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU NX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU OP 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU TX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU WX 媒体气体净化器
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发表于2021年2月1日数据表GateKeeper GPU WY 媒体气体净化器
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发表于2021年9月1日数据表GateKeeper GPU YX 媒体气体净化器
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发表于2024年1月1日数据表突破性生命终结指标 (BTI)
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发表于2019年9月4日宣传册气体净化解决方案
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发表于2018年3月1日技术说明气体流中金属污染物的减少
英特格ENTEGRIS，O2、CDA纯化器，GPUS70FNX04ROOCA
英特格ENTEGRIS，O2、CDA纯化器，GPUS70FNX04ROOCA，GPUS70FNX04R00CA
GateKeeper GPU 系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度。
纯度达到ppt级别
广泛的气体兼容性，包括腐蚀性气体，如 Cl 2、HBr、HCl、CF 4、SO 2、SF 6
净化器的压降较低
通过压力设备指令 PED 的 CE 认证，并在 ISO 9001-2000 工厂制造
可再生——消除处置问题和成本
使用寿命长——降低拥有成本
使用常温净化
应用领域
GateKeeper GPU 气体净化器应用
大宗气体输送
光刻法
外延
干蚀刻
晶圆生长
沉积
QCCVATM01K
QCCVATX01
QCCZAT101
QCCZATX01
QCDVATX2F
QCDYATM0F
QCDZATXLH
QCPV15P3F
QCPV15P8P
QCVZATMTS
QCVZATMTH
QCVZATMTS0
QCVZATETH
QCVZATM4H
QCVZATM3S0
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QCVZATETS
QCVZATMT3
QCVZATX4S
QCVZATM3S
QCVZATX3S
QCVZATM4S0
QCVZATETW
QCVZATMLH
QCVZATMTW
QCVZATET3
QCVZATELH
QCVZATE4S
QCVZATE4H
QCVZATE3S
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QCVZACETS
QCVZACE4S
QCVZACE3S
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QCVYATMTH
QCVYATMT3
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QCVYATM4S0
QCVYATM4S
QCVYATM4H
QCVYATM3S0
QCVYATM3S
QCVYATETW
QCVYATETS
QCVYATETH
QCVYATET3
QCVYATELH
QCVYATE4S
QCVYATE4H
QCVYATE3S
QCVYACMTW
QCVYACMTS
QCVYACMTH
QCVYACM4S
QCVYACM3S
QCVYACETS
QCVYACETH
QCVYACE4S
QCVYACE4H
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QCVVATX3S
QCVVATMTW
QCVVATMTS0
QCVVATMTS
QCVVATMTH
QCVVATMT3
QCVVATMLH
QCVVATM4S0
QCVVATM4S
QCVVATM4H
QCVVATM3S0
QCVVATM3S
QCVVATETW
QCVVATETS
QCVVATETH
QCVVATET3
QCVVATELH
QCVVATE4S
QCVVATE4H
QCVVATE3S
QCVVACM4S
QCVVACM3S
QCV0000TS
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QCV00004S
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QCPZ30PWW
QCPZ30P8S
QCPZ30P8P
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QCPZ30P2P
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QCPY30M2P
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QCPV30P2P
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QCMZATX4S
QCMZATX3S
QCMZATM4S
QCMZATM3S
QCMZATE4S
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QCMVATX3S
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QCMVATM3S
QCMVATE4S
QCMVATE3S
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QCDZSTTXTW
QCDZSTTXTP
QCDZSTXTH
QCDZSTXTF
QCDZSTXLH
QCDZSTX4F
QCDZSTX2F
QCDZSTX1F
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QCDZSCX0F
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QCDZATX2F
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QCDZATX0F
QCDZATMTW
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QCDZATMTF
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QCDZATMSF
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QCDZATM4H