在大于180纳米技术节点中，具有高流量性能和良好污染物保留能力的工具端DI水过滤器
英特格ENTEGRIS过滤器，Savana® PS Plus Filters，SVAVR10E1现货
应用程序
Savana
PS 加速器过滤器 应用
行业：生命科学、平板显示、数据存储、化学制造
工艺：净化、设备、硬盘组件 - 清洁、基板清洁、磁头 - 湿法蚀刻和清洁、HGA/HSA组件 - 清洁、化学、清洁、返工
化学：稀酸，稀碱，DI水
安装点：工具点，批量
产品规格
材料： 膜：亲水性聚醚砜
支撑件、核心件、套筒、端盖：聚丙烯
O形环：EPDM，FKM，E-FKM
保留率： 0.1, 0.2, 0.45, 1.0 微米
最大运行条件： 最大正向压差：0.4 MPa（4 bar，58 psi）@ 20°（68°F），0.2 MPa（2 bar，29 PSi）@ 90°C（194°F）
最大反向差压：0.2 MPa（2.5 bar，36 psi）@ 20°C（68°F）
最高工作温度：90°C (194°F)
尺寸（标称）： 长度：260 毫米（CD-O，10英寸）；251 毫米（CD-F，10英寸）
直径：70 毫米 (CD-0/F)
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ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
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